提高LTPSOLED六代线良品率设备出炉新时代

控制好颗粒、提高设备性能、提高系统的稳定性都是确保 顺利向6代过渡的重要保障。

有消息称目前已经有韩国厂商尝试采用6代线切割LTPS AM。不过，与a-Si TFT高达90%以上的良品率相比，低良品率一直是横亘在LTPS面前的一大问题。日前，应用材料公司推出可用于6代线的25KPXi CVD设备，采用超低缺陷控制设计，可提升设备性能和系统稳定性，有利用推动LTPS AMOLED向6代线过渡。

6代LTPS AMOLED受关注

LTPS(低温多晶硅技术)最初是为降低屏幕的能耗，令显示屏更薄更轻而研发的一项背板驱动技术。由于采用它之后，屏电子迁移率将比传统的a-Si TFT更高，也被引入AMO领域，并大大加速了小尺寸OLED的开发与量产进程。目前，以智能为代表的市场增长很快，需要更高精度、更大尺寸，未来对柔性屏的需求也很大。具备上述特点的LTPS AMOLED技术被广泛看好。

行业咨询机构NPD DisplaySearch数据显示，随着高分辨率智能的盛行以及智能屏幕平均尺寸持续增长，LTPS面板需求将持续走高，201 年LTPS面板需求面积为 28.8万平方米，AMOLED面板需求面积为1 7.6万平方米;预计至2020年，LTPS面板需求面积年复合增长率将为24.1%，AMOLED面板需求面积年复合增长率达40.7%。

受市场驱动，从去年底开始已有韩国厂商尝试采用6代线切割LTPS AMOLED。有业者向透露： 预计到了明年就会有一个比较规模化的一个6代LTPS AMOLED生产线出货 。

与此同时，国内显示面板企业也开始推进第6代LTPS生产线的建设，将来未尝不能转向AMOLED的生产。

良率提升是关键

尽管采用LTPS技术的中小尺寸面板在全球非常具有市场竞争力，但是与传统的非晶硅和金属氧化物薄膜晶体管相比，LTPS生产工艺更加复杂，技术难度也更高，显示企业虽然有动力采用更高世代产线投入生产，可是良品率的提高却一直是一大挑战。

清华大学教授高鸿锦表示，LTPS不像a-Si那么稳定，中文版预定将于11月上市。想要提高工艺和技术并不是一件容易的事情。如果LTPS能够降到6次掩膜，那么良品率会更是时尚奢侈品首度在中国向世界进行上直播. 这标志着Chloé再度走在了科技潮流的浪尖。提高很多。

目前所有投资LTPS的厂商，最关注的一点就是良品率的提高。良品率理论上应该是可以达到85%以上，特别是对于一些LTPS/AMOLED量产经验丰富的企业来说，但对有些企业来说，良品率确实是一个问题。 应用材料公司显示事业部首席营销官Max McDaniel表示， 但正因如此，当别人都受到良品率困挠的时候，你如何能够快速控制好良率的话，就能让你把握市场先机。